mAm 2014

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Le silicium taillé au rayon X

Le dernier intervenant de la matinée était le Dr Joachim Schulz, CEO de Microworks GmbH dont la présentation avait pour thème: X-Ray LIGA: a new mainstream appeal (le recours au nouveau courant dominant). La technologie LIGA (lithographie, galvanoplastie, formage) peut être mise en œuvre par lumière ultra-violette ou par rayon X. Microworks est spécialisée dans la fabrication de composants sub micrométriques avec une précision égale ou inférieure à 200 nanomètres dans des matériaux comme le nickel, nickel-cobalt ou l'or à des échelles comprises entre 1 micron et en dessous et jusqu'à 2000 microns pour les plus grandes dimensions. La technologie LIGA utilise des rayons X pour obtenir des structures en polymères verticales avec des épaisseurs de 10 à 2000 microns. Cette matrice lithographique peut être revêtue de métaux par galvanoplastie pour obtenir des structures métalliques dans une plage de dimensions allant du micromètre au millimètre avec un très haut niveau de précision et un ratio hauteur/largeur supérieur à 200. Les propriétés de la métallisation peuvent être optimisées pour respecter des contraintes de dureté, de magnétisme et de résistance à des environnements agressifs. Inversement, ces structures métalliques peuvent être utilisées comme des cavités et deviennent ainsi des moules pour des applications de micro injection. Parallèlement, Microworks propose aussi des dépôts métalliques sur de l'or et ses alliages jusqu'à une épaisseur de 400 microns. La société dispose pour cela d'un synchrotron qui a plusieurs avantages par rapport à la technologie UV: il s'absout des problèmes de diffraction des ultra-violet, une précision sub micrométriques peut être atteinte sans difficultés, il permet une plus importante pénétration (plusieurs millimètres), une précision de répétabilité extrême et autorise la fabrication de structures inclinées. Le gain en temps et financier générée par cette technologie n'est de loin pas négligeable, comparativement à une méthode classique l'économie de temps est 5 fois inférieure, les coûts divisés par deux et la taille des circuits peut être augmentée jusqu'à six fois. Les applications semblent presque sans limites: la fabrication de masque pour layout, micro composant pour l'horlogerie, trains de micro engrenages, électrodes pour machine électrode-érosion, micro tamis, éléments de fixation, RF MEMS et bien d'autres encore.

La suite prochainement

Voilà le premier volet de cet article terminé, il résume de manière assez détaillée la matinée de cette première journée. Le cycle de conférence de l'après-midi étant tout aussi consistant que celui de la matinée, il fera l'objet d'un second article qui sera tout prochainement disponible sur notre site internet. <<

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