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Telica : au service des applications back-end Etel lance TELICA - une solution de système de positionnement innovante

| Rédacteur: Jérémy Gonthier

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TELICA, la nouvelle solution de système de positionnement innovante au service des applications back-end.
TELICA, la nouvelle solution de système de positionnement innovante au service des applications back-end.
(Source : Etel)

Système de mouvement – Etel lance TELICA, sa nouvelle plateforme multi-axes principalement dédiée aux applications du semi-conducteur back-end. Son architecture à double portique permet des mouvements selon 3 degrés de liberté, X, Y et Z, pour un nombre total de 8 axes contrôlés. Il est conçu pour répondre aux exigences les plus drastiques des processus de die bonding (Flip-chip, Fan-out, emballages empilés 3D), µ-LED bonding, applications de distribution et plus encore.

De par leur conception, les architectures de systèmes de mouvement conventionnelles sont optimisées soit pour une précision de positionnement élevée soit pour un débit élevé. Grâce à une architecture de système de mouvement très innovante, TELICA permet les deux simultanément avec une précision de placement globale de ± 1 µm (mouvement aveugle) à un débit de 10 kUPH pour une application typique de flip chip die bonding et jusqu'à 180 kUPH pour le µ-LED.

TELICA est disponible en deux variantes standard : la variante 1 pour la gestion des wafers (WLP) avec des déplacements de X410 x Y445 x Z30 mm et la variante 2 pour la gestion des panneaux (PLP) avec des déplacements de X750 x Y800 x Z30 mm.

TELICA introduit une nouvelle approche métrologique réduisant considérablement les erreurs d'Abbé ainsi que le décalage relatif de positionnement entre l'outil du processus et le substrat. Les codeurs multidimensionnels garantissent une précision de placement élevée tandis que les moteurs fers refroidis par eau permettent des cycles opératoire exceptionnels.

Couplée avec les contrôleurs AccurET d'Etel, la plateforme TELICA bénéficie de multiples fonctionnalités de contrôle telles que: temps de stabilisation nul, contrôle non linéaire, filtres avancés de trajectoire, synchronisation complète de tous les axes avec une stabilité de l’ordre de la nanoseconde, algorithme spécifique de contrôle de portique, cartographie multidimensionnelle, capacités de déclenchement avancées basées sur la position réelle cartographiée, diagnostic software performant et outils d'identification du système pour l'optimisation du contrôle.

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